DMD senzor vlnoplochy pro charakterizaci laserových svazků

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F21%3A73610938" target="_blank" >RIV/61989592:15310/21:73610938 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://obd.upol.cz/id_publ/333190825" target="_blank" >https://obd.upol.cz/id_publ/333190825</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
DMD senzor vlnoplochy pro charakterizaci laserových svazků
Popis výsledku v původním jazyce
DMD senzor vlnoplochy na principu Hartmannovy masky byl upraven tak, aby měřil modovou strukturu laserového svazku, která je zásadní pro DUV litografii, kde se používají excimerové lasery.
Název v anglickém jazyce
DMD wavefront sensor for laser beam characterization
Popis výsledku anglicky
A functional sample of custom DMD electronics for Hartmann like wavefront sensor has been modified to measure mode structure of the laser beam essential for DUV lithography where excimer lasers are used.

Projekt
<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
TN01000008/5-V011
Číselná identifikace
5-V011
Technické parametry
Funkční vzorek TN01000008/5-V11 je modifikací funkčního TN01000008/05-V004 (Optimální DMD senzor vlnoplochy pro justáž optických systémů) z roku 2020. Nutné změny umožňují úplnou charakterizaci částečně prostorově koherentních laserových svazků, které jsou zásadní pro aplikace DUV litografie využívající excimerové lasery s nestabilním rezonátorem. DMD senzor vlnoplochy na bázi Hartmanova senzoru je schopný provádět rekonstrukci koherenční matice v diskrétních bodech.
Ekonomické parametry
Zařízení je používáno pro výzkumné a výukové účely.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
61989592
Název vlastníka
Meopta – optika, s.r.o., Univerzita Palackého v Olomouci
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
https://obd.upol.cz/id_publ/333190825

Podobné výsledky(10)