Measurement of mechanical properties of TiOx a TiZrOx thin films
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F22%3A73616040" target="_blank" >RIV/61989592:15310/22:73616040 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://obd.upol.cz/id_publ/333195927" target="_blank" >https://obd.upol.cz/id_publ/333195927</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Measurement of mechanical properties of TiOx a TiZrOx thin films
Popis výsledku v původním jazyce
The report deals with local mechanical testing of TiOx and TiZrOx thin films on a glass substrate. The indentation hardness and reduced modulus were measured using instrumented indentation test. The adhesion-cohesion properties were studied by scratch test, and the dynamic resistance of these films was analyzed by impulse test. The effect of the indenter radius on the deformation response of the thin films was also explored.
Název v anglickém jazyce
Measurement of mechanical properties of TiOx a TiZrOx thin films
Popis výsledku anglicky
The report deals with local mechanical testing of TiOx and TiZrOx thin films on a glass substrate. The indentation hardness and reduced modulus were measured using instrumented indentation test. The adhesion-cohesion properties were studied by scratch test, and the dynamic resistance of these films was analyzed by impulse test. The effect of the indenter radius on the deformation response of the thin films was also explored.
Klasifikace
Druh
V<sub>souhrn</sub> - Souhrnná výzkumná zpráva
CEP obor
—
OECD FORD obor
20501 - Materials engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju
Ostatní
Rok uplatnění
2022
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Údaje specifické pro druh výsledku
Počet stran výsledku
56
Místo vydání
neuveden
Název nakladatele resp. objednatele
SISECAM, Science and Technology Center, Cumhuriyet Mah. Sisecam Yolu, 41400 Gebze-Kocaeli, Turkey
Verze
—