Height profile measurement by means of white light interferometry

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15410%2F03%3A00001469" target="_blank" >RIV/61989592:15410/03:00001469 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Height profile measurement by means of white light interferometry

Popis výsledku v původním jazyce

White light interferometry is an established method for height profile measurement of objects. This method, unlike classical interferometry, can be used for measurement of objects with rough surface which is an important advantage. The white light interferometer with a broad-band light source and a CCD camera as a detector. The Michelson interferometer has the object to be measured in one arm and the reference mirror in the other arm.

Název v anglickém jazyce

Height profile measurement by means of white light interferometry

Popis výsledku anglicky

White light interferometry is an established method for height profile measurement of objects. This method, unlike classical interferometry, can be used for measurement of objects with rough surface which is an important advantage. The white light interferometer with a broad-band light source and a CCD camera as a detector. The Michelson interferometer has the object to be measured in one arm and the reference mirror in the other arm.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/LN00A015" target="_blank" >LN00A015: Výzkumné centrum pro optiku</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Proceedings of the 13th Polish-Czech-Slovak Optical Conference on Wave and Quantum Aspect of Contemporary Optics

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Svazek periodika

5259

Číslo periodika v rámci svazku

N

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

139-144

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—