Diamond growth on silicon and WC-Co by microwave plasma chemical vapor deposition.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081723%3A_____%2F03%3A07033140" target="_blank" >RIV/68081723:_____/03:07033140 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Diamond growth on silicon and WC-Co by microwave plasma chemical vapor deposition.
Popis výsledku v původním jazyce
We studied the growth of microcrystalline diamond films on pre-treated Si and WC-Co substrates by microwave plasma chemical vapor deposition.We observed the interesting time dependence of the negative bias voltage during nucleation stage which is usefulfor nucleation process monitoring. The layers were analysed by Raman spectroscopy, scanning electron microscopy and atomic force microscopy.
Název v anglickém jazyce
Diamond growth on silicon and WC-Co by microwave plasma chemical vapor deposition.
Popis výsledku anglicky
We studied the growth of microcrystalline diamond films on pre-treated Si and WC-Co substrates by microwave plasma chemical vapor deposition.We observed the interesting time dependence of the negative bias voltage during nucleation stage which is usefulfor nucleation process monitoring. The layers were analysed by Raman spectroscopy, scanning electron microscopy and atomic force microscopy.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/IBS2041105" target="_blank" >IBS2041105: Povrchy a rozhraní v konstrukčních materiálech - aplikace moderních technologií a počítačového modelování</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2003
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
WDS'03 Proceedings of contributed papers.
ISBN
80-86732-18-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
341-346
Název nakladatele
MATFYZPRESS
Místo vydání
Praha
Místo konání akce
Praha [CZ]
Datum konání akce
10. 6. 2003
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—