Studium mechanických vlastností kovových vrstev na křemíkové podložce

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081723%3A_____%2F07%3A00094366" target="_blank" >RIV/68081723:_____/07:00094366 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68081731:_____/07:00094366
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Study of Mechanical Properties of Metallic Surface Layers on Silicon Substrates
Popis výsledku v původním jazyce
The mechanical properties of metallic thin films deposited on silicon by magnetron sputtering and Thermoionic vacuum arc were studied using two different type of indentation methods - the depth sensing indentation test (DSI) and the continuous stiffnessmeasurement method (CSM).
Název v anglickém jazyce
Study of Mechanical Properties of Metallic Surface Layers on Silicon Substrates
Popis výsledku anglicky
The mechanical properties of metallic thin films deposited on silicon by magnetron sputtering and Thermoionic vacuum arc were studied using two different type of indentation methods - the depth sensing indentation test (DSI) and the continuous stiffnessmeasurement method (CSM).

Projekt
<a href="/cs/project/KAN311610701" target="_blank" >KAN311610701: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
Nano'07 - 6th International Conference on Nanosciences and Nanotechnologies in the Czech Republic
ISBN
978-80-214-3460-8
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
1
Strana od-do
54
Název nakladatele
CSNMT
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
8. 10. 2007
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)