High resolution field emission scanning electron microscope JSM 6700 in ISI AS CR Brno - first experience and results with the instrument operation.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F02%3A12020088" target="_blank" >RIV/68081731:_____/02:12020088 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
High resolution field emission scanning electron microscope JSM 6700 in ISI AS CR Brno - first experience and results with the instrument operation.
Popis výsledku v původním jazyce
JSM6700F is an ultra high resolution FE SEM suitable for observation of fine structures such as mutilayeres film and nano particles fabricated by the nanotechnology. This JEOL microscope is at ISI ASCR Brno in experimental operation since the beginning of 2002. Its possibilities have been tested on first specimens with submicron structures.
Název v anglickém jazyce
High resolution field emission scanning electron microscope JSM 6700 in ISI AS CR Brno - first experience and results with the instrument operation.
Popis výsledku anglicky
JSM6700F is an ultra high resolution FE SEM suitable for observation of fine structures such as mutilayeres film and nano particles fabricated by the nanotechnology. This JEOL microscope is at ISI ASCR Brno in experimental operation since the beginning of 2002. Its possibilities have been tested on first specimens with submicron structures.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2002
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
International summer school: Role of physics in future applications: from nanotechnology to macroelectronics.
ISBN
—
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
18
Strana od-do
"X1"-"X5"
Název nakladatele
VUT
Místo vydání
Tři Studně
Místo konání akce
Tři Studně [CZ]
Datum konání akce
10. 6. 2002
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—