Construction of differential pumping chamber with detector board for adaptation of scanning electron microscope working in high pressure.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F03%3A12030047" target="_blank" >RIV/68081731:_____/03:12030047 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Construction of differential pumping chamber with detector board for adaptation of scanning electron microscope working in high pressure.

Popis výsledku v původním jazyce

This paper deals with adaptation of the scanning electron microscope (SEM) to the environmental scanning electron microscope (ESEM). ESEM allows work at higher pressure in some parts of the microscope. It focuses especially to the construction and assembly of the differential pumping chamber together with the detector board of the differential pumping chamber and it comments reasons of necessity of the assembly of these parts in the environmental scanning electron microscope.

Název v anglickém jazyce

Construction of differential pumping chamber with detector board for adaptation of scanning electron microscope working in high pressure.

Popis výsledku anglicky

This paper deals with adaptation of the scanning electron microscope (SEM) to the environmental scanning electron microscope (ESEM). ESEM allows work at higher pressure in some parts of the microscope. It focuses especially to the construction and assembly of the differential pumping chamber together with the detector board of the differential pumping chamber and it comments reasons of necessity of the assembly of these parts in the environmental scanning electron microscope.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the International Conference and Competition Student EEICT 2003.

ISBN

80-214-2401-X

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

199-203

Název nakladatele

Brno University of Technology

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno [CZ]

Datum konání akce

24. 4. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—