Rastrovací elektronová mikroskopie pomalými elektrony

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109042" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109042 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216305:26220/04:PU43814

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Very Low Energy Scanning Electron Microscopy

Popis výsledku v původním jazyce

The largest sample thickness usable for transmission electron microscopy (TEM) is determined by the inelastic and elastic mean free paths (IMFP and EMFP). At primary electron energies normally used for TEM (>50 keV), both the mean free paths decrease asthe primary energy is lowered. Attaining a sufficient penetration through a transmission sample of a given thickness is then simply a question of using a suitably high primary energy. As the primary energy is lowered below about 100 eV, however, IMFP ispredicted to stop decreasing and to begin to grow again. This opens up the exciting possibility of very low voltage TEM, with poorer resolution but greatly reduced radiation damage compared to conventional TEM

Název v anglickém jazyce

Very Low Energy Scanning Electron Microscopy

Popis výsledku anglicky

The largest sample thickness usable for transmission electron microscopy (TEM) is determined by the inelastic and elastic mean free paths (IMFP and EMFP). At primary electron energies normally used for TEM (>50 keV), both the mean free paths decrease asthe primary energy is lowered. Attaining a sufficient penetration through a transmission sample of a given thickness is then simply a question of using a suitably high primary energy. As the primary energy is lowered below about 100 eV, however, IMFP ispredicted to stop decreasing and to begin to grow again. This opens up the exciting possibility of very low voltage TEM, with poorer resolution but greatly reduced radiation damage compared to conventional TEM

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KJB2065405" target="_blank" >KJB2065405: Studium nanostruktur elektronovým svazkem</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation

ISBN

80-239-3246-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

33-34

Název nakladatele

Institute of Scientific Instruments AS CR

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Skalský Dvůr

Datum konání akce

12. 7. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—