Zobrazení dopovaného křemíku na velmi nízkých energiích pomocí rastrovacího elektronového mikroskopu

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00315452" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00315452 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Scanning Low Energy Electron Microscopy of Doped Silicon at Units of EV
Popis výsledku v původním jazyce
Scanning low energy electron microscope equipped with cathode lens was employed in observation of differently doped areas in silicon imaged at units of eV. The phenomena connected with injected charge, contamination and modulation of electron reflectivity are discussed.
Název v anglickém jazyce
Scanning Low Energy Electron Microscopy of Doped Silicon at Units of EV
Popis výsledku anglicky
Scanning low energy electron microscope equipped with cathode lens was employed in observation of differently doped areas in silicon imaged at units of eV. The phenomena connected with injected charge, contamination and modulation of electron reflectivity are discussed.

Projekt
<a href="/cs/project/IAA100650803" target="_blank" >IAA100650803: Koherentní zobrazování nanostruktur v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s plošným detektorem elektronů</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation
ISBN
978-80-254-0905-3
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
—
Název nakladatele
Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Skalský dvůr
Datum konání akce
14. 7. 2008
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)