Ionizační detektor environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00322626" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00322626 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Ionizační detektor environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu

Popis výsledku v původním jazyce

Základní filozofií ionizačního detektoru sekundárních elektronů s elektrostatickým separátorem (ISEDS) je optimalizace fyzikálního principu detekce signálních elektronů v podmínkách vysokého tlaku plynů EREM, při zachování vysokého podílu detekovaného signálu sekundárních elektronů s minimálním příspěvkem zpětně odražených elektronů. Vhodně situované elektrostatické pole separátoru ISEDS, nacházející se zejména nad a kolem pozorovaného vzorku, efektivně filtruje vysokoenergiové BSE a dovoluje detekci nízkoenergiových SE s vysokou selektivitou.

Název v anglickém jazyce

The ionisation detector of the environmental scanning electron microscope

Popis výsledku anglicky

The basic philosophy of the ionisation detector of secondary electrons with electrostatic separator (ISEDS), is to optimize the physical principle of the detection of signal electrons in high pressure conditions of VP SEM in order to achieve a higher purity of the secondary electrons signal with a minimal contribution of backscattered electrons. Suitably situated electrostatic fields of separator of ISEDS, placed mainly above and around observed sample, efficientlv filter away the high energy BSEs and enable to detect low energy SEs with high selectivity.

Druh

P - Patent

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KJB200650602" target="_blank" >KJB200650602: Detekční systém pro záznam signálů čistých sekundárních nebo zpětně odražených elektronů v ESEM</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Číslo patentu nebo vzoru

299864

Vydavatel

—

Název vydavatele

—

Místo vydání

—

Stát vydání

—

Datum přijetí

5. 11. 2008

Název vlastníka

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i

Způsob využití

A - Výsledek využívá pouze poskytovatel

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence