Modular Monte Carlo Simulation Including Secondary Electron Raytracing

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00335886" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00335886 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Modular Monte Carlo Simulation Including Secondary Electron Raytracing

Popis výsledku v původním jazyce

A Monte Carlo simulation program for the modeling of image formation in scanning electron microscopy is presented. A key feature of the program is its modular design, so the different aspects of image formation (i.e. forming of the electron probe, specimen topography model, probe-sample-interaction, electron detector model, image processing) are arranged in separate program modules. The program is written in C++ and uses object-oriented programming techniques. Data exchange between the different programmodules is performed by defined software interfaces. Thus, third party simulation code can easily be integrated into the program.

Název v anglickém jazyce

Modular Monte Carlo Simulation Including Secondary Electron Raytracing

Popis výsledku anglicky

A Monte Carlo simulation program for the modeling of image formation in scanning electron microscopy is presented. A key feature of the program is its modular design, so the different aspects of image formation (i.e. forming of the electron probe, specimen topography model, probe-sample-interaction, electron detector model, image processing) are arranged in separate program modules. The program is written in C++ and uses object-oriented programming techniques. Data exchange between the different programmodules is performed by defined software interfaces. Thus, third party simulation code can easily be integrated into the program.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation

ISBN

978-80-254-0905-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Název nakladatele

Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Skalský dvůr

Datum konání akce

14. 7. 2008

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—