Interferometrické měření polohy pro mikroskopii s lokální sondou

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F09%3A00325114" target="_blank" >RIV/68081731:_____/09:00325114 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy

Popis výsledku v původním jazyce

In the contribution we present an interferometric displacement monitoring system for positioning of a sample stage for local probe microscopy. The arrangement is designed for metrology applications with direct link to fundamental etalon of length and monitoring of all six axes of freedom of motion. Active position of control is proposed.

Název v anglickém jazyce

Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy

Popis výsledku anglicky

In the contribution we present an interferometric displacement monitoring system for positioning of a sample stage for local probe microscopy. The arrangement is designed for metrology applications with direct link to fundamental etalon of length and monitoring of all six axes of freedom of motion. Active position of control is proposed.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

tm-Technisches Messen

ISSN

0171-8096

e-ISSN

—

Svazek periodika

76

Číslo periodika v rámci svazku

5

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—