Metrological SPM with positioning controlled by green light interferometry
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F09%3A00335626" target="_blank" >RIV/68081731:_____/09:00335626 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00177016:_____/09:#0000356
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Metrological SPM with positioning controlled by green light interferometry
Popis výsledku v původním jazyce
Laser interferometry seems to be a solution not only due to its direct traceability to the fundamental etalon of length but also the incremental interferometer in its fringe counting mode gives an excellent dynamic range limited only by the fluctuationsof the refractive index of air and offers nanometer or even subnanometer resolution over large range. We concentrated onto a small range flexture three-axis nanopositioning stage equipped with closed-loop motion control with capacitive sensors embedded in a frame with six-axes interferometric system supplied from a stabilized single-frequency frequency doubled 532 nm Nd:YAG laser.
Název v anglickém jazyce
Metrological SPM with positioning controlled by green light interferometry
Popis výsledku anglicky
Laser interferometry seems to be a solution not only due to its direct traceability to the fundamental etalon of length but also the incremental interferometer in its fringe counting mode gives an excellent dynamic range limited only by the fluctuationsof the refractive index of air and offers nanometer or even subnanometer resolution over large range. We concentrated onto a small range flexture three-axis nanopositioning stage equipped with closed-loop motion control with capacitive sensors embedded in a frame with six-axes interferometric system supplied from a stabilized single-frequency frequency doubled 532 nm Nd:YAG laser.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2009
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Fringe 2009 - 6th International Workshop on Advanced Optical Metrology
ISBN
978-3-642-03050-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
—
Název nakladatele
Springer
Místo vydání
Heidelberg
Místo konání akce
Nürtinger
Datum konání akce
13. 9. 2009
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—