The Impact of Critical Flow on the Primary Electron Beam Passage through Differentially Pumped Chamber

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F11%3A00371435" target="_blank" >RIV/68081731:_____/11:00371435 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
The Impact of Critical Flow on the Primary Electron Beam Passage through Differentially Pumped Chamber
Popis výsledku v původním jazyce
Environmental scanning electron microscope creates new possibilities in the field of examination of various types of specimens and their phases. The article analyses and compares the results of air pumping measurement for selected shapes of the differentially pumped chamber to create vacuum, using the Cosmos FloWorks system.
Název v anglickém jazyce
The Impact of Critical Flow on the Primary Electron Beam Passage through Differentially Pumped Chamber
Popis výsledku anglicky
Environmental scanning electron microscope creates new possibilities in the field of examination of various types of specimens and their phases. The article analyses and compares the results of air pumping measurement for selected shapes of the differentially pumped chamber to create vacuum, using the Cosmos FloWorks system.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/GAP102%2F10%2F1410" target="_blank" >GAP102/10/1410: Studium vlivu magnetického a elektrostatického pole na zesílení signálu sekundárních elektronů detekovaných novým detektorem pro VP-SEM.</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)