Thin Metallic Layers Structured by E-beam Lithography

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F12%3A00387383" target="_blank" >RIV/68081731:_____/12:00387383 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Thin Metallic Layers Structured by E-beam Lithography

Popis výsledku v původním jazyce

The group of electron beam lithography runs the laboratory equipped with a shaped beam electron writer (BS600) and the basic technology for the lithographic process. The group is able to prepare micro and nano structures in thin layers of metals and other materials; including the characterization of the realized structures (using AFM, SEM, and CLSM). Within a few months (in the frame of the 'ALISI' project) a new e-beam writer with a better resolution will be installed; it will enable the realization ofthe actual structures in a better quality and the development of new structures with a very high innovation potential.

Název v anglickém jazyce

Thin Metallic Layers Structured by E-beam Lithography

Popis výsledku anglicky

The group of electron beam lithography runs the laboratory equipped with a shaped beam electron writer (BS600) and the basic technology for the lithographic process. The group is able to prepare micro and nano structures in thin layers of metals and other materials; including the characterization of the realized structures (using AFM, SEM, and CLSM). Within a few months (in the frame of the 'ALISI' project) a new e-beam writer with a better resolution will be installed; it will enable the realization ofthe actual structures in a better quality and the development of new structures with a very high innovation potential.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/ED0017%2F01%2F01" target="_blank" >ED0017/01/01: APLIKACNÍ A VÝVOJOVÉ LABORATORE POKROCILÝCH MIKROTECHNOLOGIÍ A NANOTECHNOLOGIÍ</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

METAL 2012 Conference Proceedings. 21st International Conference on Metallurgy and Materials

ISBN

978-80-87294-29-1

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Název nakladatele

TANGER Ltd

Místo vydání

Ostrava

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

23. 5. 2012

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—