Polohovací systém s velkým dynamickým rozsahem řízený piezoelektrickým motorem
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F12%3A00387397" target="_blank" >RIV/68081731:_____/12:00387397 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Polohovací systém s velkým dynamickým rozsahem řízený piezoelektrickým motorem
Popis výsledku v původním jazyce
Vyvinuté zařízení, jehož hlavní uplatnění je v mikroskopii atomárních sil (AFM), umožňuje ve 2 osách polohování stolku se vzorkem s vysokým rozlišením a velkým dynamickým rozsahem. Polohovací jednotka je založena na piezoelektrických lineárních motorechpohybujících s držákem vzorku ve 2 osách v pružných planžetových vedeních. Vysokého rozlišení a opakovatelnosti polohování je dosaženo díky řízení lineárních motorů v uzavřené regulační smyčce, kde jako zpětnovazební signál slouží údaj o délce měřené optickými inkrementálními snímači integrovanými v mechanice polohovací jednotky. Rozsah polohování v obou osách je cca 6 mm s rozlišením 20 nm. Zařízení je možno s nadřazeným počítačovým systémem propojit pomocí rozhraní RS-232 nebo USB.
Název v anglickém jazyce
Positioning system with high dynamic range driven by a piezoelectric motor
Popis výsledku anglicky
The main field of application of the developed device is in the atomic force microscopy (AFM). The unit is indended for 2-axis positioning of the sample holder with high dynamic range and very fine resolution. The positioning unit is built around piezoelectric linear motors moving with the sample holder in 2-axes flexible planchet guideways. The high resolution and repeatability of the positioning is achieved by servo-loop control of the linear motors. The length measured by incremental optical sensorsintegrated directly in the body of the unit is used as the feedback signal. The range of the positioning is approx. 6 mm with resolution of 20 nm. The device can be connected to a superior computer system via RS-232 or USB interface.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/FR-TI1%2F241" target="_blank" >FR-TI1/241: Prvky pro nanometrickou diagnostiku délkových změn, tvarových úchylek a povrchových defektů</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
UPT 2012/06
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Funkční vzorek realizovaný v rámci řešení grantu: Umožňuje polohování stolku se vzorkem ve dvou osách s vysokým rozlišením a velkým dynamickým rozsahem. Rozsah polohování v obou osách je cca 6 mm s rozlišením 20 nm.
Ekonomické parametry
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Je připravovaná smlouva s firmou MESING, spol. s r.o. (IČ: 25579835).
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68081731
Název vlastníka
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—