Some Other Gratings: Benchmarks for Large-Area E-Beam Nanopatterning
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F14%3A00437840" target="_blank" >RIV/68081731:_____/14:00437840 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Some Other Gratings: Benchmarks for Large-Area E-Beam Nanopatterning
Popis výsledku v původním jazyce
E-beam lithography is a flexible technology for diffraction gratings origination. Nevertheless, requirements of the high optical quality of large area diffractive structures imply various severe challenges to e-beam delineating processes. This paper summarizes the e-beam process parameters that influence the quality of large area grating structures. Next, we propose some new methods to prepare diffraction gratings that were found to be useful for testing and benchmarking purposes. Those methods includesingle line gratings, labyrinth structures, fractional structures, tiling patterns, quasi regular filling structures and forked line structures. Various samples were prepared with the standard and newly developed e-beam patterning processes using both e-beam writers available: one with the Gaussian beam at 100 keV and another one with the shaped beam at 15 keV. Some of the results are presented further in this paper, their variants and parameters are discussed as well as their usefulness
Název v anglickém jazyce
Some Other Gratings: Benchmarks for Large-Area E-Beam Nanopatterning
Popis výsledku anglicky
E-beam lithography is a flexible technology for diffraction gratings origination. Nevertheless, requirements of the high optical quality of large area diffractive structures imply various severe challenges to e-beam delineating processes. This paper summarizes the e-beam process parameters that influence the quality of large area grating structures. Next, we propose some new methods to prepare diffraction gratings that were found to be useful for testing and benchmarking purposes. Those methods includesingle line gratings, labyrinth structures, fractional structures, tiling patterns, quasi regular filling structures and forked line structures. Various samples were prepared with the standard and newly developed e-beam patterning processes using both e-beam writers available: one with the Gaussian beam at 100 keV and another one with the shaped beam at 15 keV. Some of the results are presented further in this paper, their variants and parameters are discussed as well as their usefulness
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
NANOCON 2014. 6th International conference proceedings
ISBN
978-80-87294-55-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
—
Název nakladatele
TANGER
Místo vydání
Ostrava
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
5. 11. 2014
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—