Wave Optical Calculation of Probe Size in Low Energy Scanning Electron Microscope
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F15%3A00451582" target="_blank" >RIV/68081731:_____/15:00451582 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1017/S1431927615013392" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1017/S1431927615013392</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1017/S1431927615013392" target="_blank" >10.1017/S1431927615013392</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Wave Optical Calculation of Probe Size in Low Energy Scanning Electron Microscope
Popis výsledku v původním jazyce
A wave optical calculation of the probe size of a low energy scanning electron microscope is presented. The resolution for the optimal aperture was computed and compared with results of standard approaches. The effect of deflection aberrations is also considered, and it was found to be critical for the landing energies below 5eV and fields of view larger than 100 x 100 pím2.
Název v anglickém jazyce
Wave Optical Calculation of Probe Size in Low Energy Scanning Electron Microscope
Popis výsledku anglicky
A wave optical calculation of the probe size of a low energy scanning electron microscope is presented. The resolution for the optimal aperture was computed and compared with results of standard approaches. The effect of deflection aberrations is also considered, and it was found to be critical for the landing energies below 5eV and fields of view larger than 100 x 100 pím2.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/LO1212" target="_blank" >LO1212: ALISI - Centrum pokročilých diagnostických metod a technologií</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Microscopy and Microanalysis
ISSN
1431-9276
e-ISSN
—
Svazek periodika
21
Číslo periodika v rámci svazku
S4
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
212-217
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—