Thermal desorption spectroscopy in prototype furnace for chemical vapor deposition

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F18%3A00494371" target="_blank" >RIV/68081731:_____/18:00494371 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Thermal desorption spectroscopy in prototype furnace for chemical vapor deposition

Popis výsledku v původním jazyce

Cleaning of the sample surfaces is crucial for scanning electron microscopy, especially fornlow energy electron microscopy or for the deposition of thin layers, such as graphene,nwhere surface has to be well prepared. In the best case, every unwanted particle should bencleaned from the sample surface for best low energy electron microscopy observation or thinnfilm deposition. Unfortunately, the standard cleaning procedures can leave residues on thensample surface. This work is focused on thermal desorption spectroscopy (TDS). TDS is a method of observing desorbed molecules from a sample surface during the increase ofntemperature of the sample. The aim of this study was to determine optimum conditions:ntemperature and time, to achieve clean surfaces in the shortest time.

Název v anglickém jazyce

Thermal desorption spectroscopy in prototype furnace for chemical vapor deposition

Popis výsledku anglicky

Cleaning of the sample surfaces is crucial for scanning electron microscopy, especially fornlow energy electron microscopy or for the deposition of thin layers, such as graphene,nwhere surface has to be well prepared. In the best case, every unwanted particle should bencleaned from the sample surface for best low energy electron microscopy observation or thinnfilm deposition. Unfortunately, the standard cleaning procedures can leave residues on thensample surface. This work is focused on thermal desorption spectroscopy (TDS). TDS is a method of observing desorbed molecules from a sample surface during the increase ofntemperature of the sample. The aim of this study was to determine optimum conditions:ntemperature and time, to achieve clean surfaces in the shortest time.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

20201 - Electrical and electronic engineering

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2018

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar

ISBN

978-80-87441-23-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

60-61

Název nakladatele

Institute of Scientific Instruments The Czech Academy of Sciences

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Skalský dvůr

Datum konání akce

4. 6. 2018

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000450591400022