Přívod plynů do CVD zařízení pro přípravu grafenových podložek
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F19%3A00507953" target="_blank" >RIV/68081731:_____/19:00507953 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Přívod plynů do CVD zařízení pro přípravu grafenových podložek
Popis výsledku v původním jazyce
Funkční vzorek byl navržen v rámci řešení projektu Podložky na bázi grafenu modifikované elektronovým svazkem pro LV STEM (TAČR GAMA TG03010046) a otestován na CVD grafenu vyráběném pro tento projekt. Přesné a bezpečné dávkování plynů do CVD pece je u přípravy grafenu velmi důležitý parametr. Je nutné zajistit velmi přesné dávkování výbušných a hořlavých plynů. Díky našemu řešení pro dávkování těchto nebezpečných plynů, připevněné k našemu prototypovému CVD reaktoru, jsme schopni dávkovat tyto plyny přímo do CVD reaktoru nejen bezpečně ale i s velkou přesností průtoku. Díky tomu jsme schopni velmi efektivně upravovat vstupní parametry experimenty během grafenového růstu. Navíc je díky našemu návrhu velmi jednoduché a bezpečné používané plyny vyměnit za jiné.
Název v anglickém jazyce
Gas supplies for CVD device for the preparation of graphene based substrates
Popis výsledku anglicky
The functional sample was designed within the project Electron beam treated graphene based substrates for LV STEM (TAČR GAMA TG03010046) and tested on CVD graphene produced for this project. Accurate and safe dosing of gases into the CVD furnace is a very important parameter in the preparation of graphene. It is necessary to ensure very accurate dosing of explosive and flammable gases. With our solution for dispensing these hazardous gases attached to our prototype CVD reactor, we are able to dispense these gases directly into the CVD reactor not only safely but also with great precision. As a result, we are able to very efficiently adjust input parameters by experiments during graphene growth. In addition, our design makes it very simple and safe to replace used gases for different ones.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
—
OECD FORD obor
20506 - Coating and films
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TG03010046" target="_blank" >TG03010046: Komercializace výsledků výzkumu realizovaných v Ústavu přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2019
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
APL-2019-04
Číselná identifikace
APL-2019-04
Technické parametry
Funkční vzorek se skládá z nerezové trubice, příruby s vývodem, 3 ventilů, 2 průtokoměrů, 2 elektromagnetických zámků, 2 plynových filtrů, tenké ocelové trubičky, kabelů na propojení s PC, 2 plynových bomb a CVD pece.
Ekonomické parametry
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Lukáš Průcha, prucha@isibrno.cz
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68081731
Název vlastníka
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—