Kalibrační interferometrický nanokomparátor pro ověřování stupnic sensorů délky nové generace

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F20%3A00531103" target="_blank" >RIV/68081731:_____/20:00531103 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Kalibrační interferometrický nanokomparátor pro ověřování stupnic sensorů délky nové generace

Popis výsledku v původním jazyce

Kalibrační nanokomparátor pro ověření délkových měřidel v jedné ose s vertikálním uspořádáním. Jako referenční stupnici využívá laserový diferenční interferometr s integrovanou pasivní kompenzací geometrických chyb (Abbého chyba, kosinová chyba ) a aktivní detekcí chyby vedení pohyblivého mostu. Podpůrná elektronika dále realizue aktivní stabilizaci měřicího zrcadla a dále sledování a kompenzaci vlivů prostředí (teplota, tlak, vibrace). Měřicí rozsah zařízení je >70mm, rozlišení stupnice je 0.1nm, absolutní přesnost pod 10nm. Rozlišení a přesnost dvojstupňového polohování je shodná s rozlišením i přesností měření, rychlost 2 mm/s. Šířka pásma měření je více než 100kHz.

Název v anglickém jazyce

Interferometric nano-comparator for calibrations of length gauges with nanometre accuracy

Popis výsledku anglicky

Nanocalibrator for calibration of length gauges in a single axis with the vertical arrangement. Reference scale delivered by a differential laser interferometer with integrated passive compensation of the geometrical errors (Abbe error, cosine error) and active detection of the translation bridge’s guiding errors. The accompanying electronics does the active stabilization of the measuring mirror and the monitoring of and/or compensation for the environmental factors (temperature, pressure, vibrations). The nanocalibrator delivers the resolution of 0.1 with absolute accuracy below 10nm over the 70mm measurement range. The resolution and accuracy of the double-stage positioning are identical to that of the measurement, the positioning velocity is 2 mm per sec. The measurement bandwidth is more than 100 kHz.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

<a href="/cs/project/FV10336" target="_blank" >FV10336: Pokročilé systémy délkové měřicí techniky pro limitní provozní podmínky</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

APL-2020-01

Číselná identifikace

APL-2020-01

Technické parametry

Rozsah měření délek až 70 mm, rozlišení měřené vzdálenosti 0.1 nm, linearita měření délky < 10 nm, absolutní přesnost < 10 nm, režim měření: absolutní, rozsah provozních teplot 18-25 oC.

Ekonomické parametry

Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Ondřej Číp, Ph.D., ocip@isibrno.cz

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

68081731

Název vlastníka

Ústav přístorojové techiky AV ČR, v. v. i.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—