Elektrostatický tubus pro 2D detekci v UHV systému (mimo-osový pixelový detektor)

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F20%3A00536443" target="_blank" >RIV/68081731:_____/20:00536443 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Elektrostatický tubus pro 2D detekci v UHV systému (mimo-osový pixelový detektor)

Popis výsledku v původním jazyce

Funkční vzorek byl navržen pro mimoosový detekční systém, který je nainstalován v komerčním elektronovém tubusu od firmy Delong Instruments. Elektronový tubus je součástí ultra vysokovakuového rastrovacího elektronového mikroskopu s pomalými elektrony vyvíjeném na Ústavu přístrojové techniky. Projekční tubus připojený k detekčnímu bloku umožňuje zformovat svazek signálních elektronů a jeho zvětšenou stopu promítnout do detekční roviny. Díky tomu budeme moci použít pixelový polovodičový detektor typu Medipix, pro úhlovou analýzu detekovaného signálu. Projekční tubus je tvořen třemi multipólovými korektory, elektrostatickou čočkou, stínítkem a řídící elektronikou s programovatelnými napěťovými zdroji.

Název v anglickém jazyce

Electrostatic column for 2D detection in UHV system (off-axis pixelated detector)

Popis výsledku anglicky

Functional sample was designed and assembled for an off-axis detection system installed in a commercial electron column from Delong Instruments. The electron column is part of an ultra-high-vacuum scanning electron microscope with slow electrons developed at the Institute of Scientific Instruments. The projection column is connected to the detection block and allows to form a beam of signal electrons and to project its enlarged spot into the detection plane. Thanks to this, we will be able to use a pixel semiconductor detector of the Medipix type, for angular analysis of the detected signal. The projection column consists of three multiple correctors, an electrostatic lens, a screen and control electronics with programmable voltage sources.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

—

OECD FORD obor

20201 - Electrical and electronic engineering

Projekt

<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

APL-2020-06

Číselná identifikace

APL-2020-06

Technické parametry

Funkční vzorek projekčního elektrostatického tubusu tvoří tři elektrostatické multipólové korektory, jedna rotačně symetrická elektrostatická čočka, stínítko, řídící elektronika s programovatelnými napěťovými zdroji a kabeláž. Výsledek byl realizován pro ověření elektronově optických vlastností projekčního elektrostatického tubusu v rámci programu Národního centra kompetence - projekt Centrum elektronové a fotonové optiky.

Ekonomické parametry

Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Ivo Konvalina, Ph.D., kimiki@isibrno.cz

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

68081731

Název vlastníka

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—