Anulární apertury pro skenovací elektronový mikroskop
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F20%3A00536666" target="_blank" >RIV/68081731:_____/20:00536666 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Anulární apertury pro skenovací elektronový mikroskop
Popis výsledku v původním jazyce
Vědecká zpráva popisující možnosti aplikace anulárních apertur v rastrovací elektronové mikroskopii. Je diskutován jejich vliv na profil svazku a rozlišení. Ukázali jsme, že se výrazně odlišuje hodnota rozlišení pro Rayleigho kritériun a pro standardně používané rozlišení dané průměrem oblasti proudového profilu, která obsahuje 50% proudu. Pomoci simulace obrazu jsme zjistily, že v případě anulárního osvětlení jsou patrné větší detaily obrazu, ale výrazně se zvýší šum v obraze. Simulace obrazu byly použity jako vstup pro algoritmus strojového učení, který umožňuje redukci šumu na úroveň kruhových clon za současného zachování jemnějších detailů, které poskytuje anulární osvětlení.
Název v anglickém jazyce
Annular aperture for Scanning electron microscope
Popis výsledku anglicky
The research report describes the application of the annular apertures in scanning electron microscopy. We studied the effect of the annular illumination on current beam density profiles and the system's resolution. We showed that the value of resolution differs for the Rayleigh criterion and 50% fraction current criterion. Using image simulation, we find out that annular illumination provides more details of the image, but noise increases. We used the image simulation results as input for the denoising algorithm based on the machine learning approach.
Klasifikace
Druh
O - Ostatní výsledky
CEP obor
—
OECD FORD obor
20201 - Electrical and electronic engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.