Beam shaping and probe characterization in the scanning electron microscope

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F21%3A00543063" target="_blank" >RIV/68081731:_____/21:00543063 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216305:26620/21:PU140679

Výsledek na webu

<a href="https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0304399121000589" target="_blank" >https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0304399121000589</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.ultramic.2021.113268" target="_blank" >10.1016/j.ultramic.2021.113268</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Beam shaping and probe characterization in the scanning electron microscope

Popis výsledku v původním jazyce

Here we demonstrate the use of nanofabricated grating holograms to diffract and shape electrons in a scanning electron microscope. The diffraction grating is placed in an aperture in the column. The entire diffraction pattern can be passed through the objective lens and projected onto the specimen, or an intermediate aperture can be used to select particular diffracted beams. We discuss several techniques for characterizing the diffraction pattern. The grating designs can incorporate features that can influence the phase and intensity of the diffracted SEM probe. We demonstrate this by producing electron vortex beams.

Název v anglickém jazyce

Beam shaping and probe characterization in the scanning electron microscope

Popis výsledku anglicky

Here we demonstrate the use of nanofabricated grating holograms to diffract and shape electrons in a scanning electron microscope. The diffraction grating is placed in an aperture in the column. The entire diffraction pattern can be passed through the objective lens and projected onto the specimen, or an intermediate aperture can be used to select particular diffracted beams. We discuss several techniques for characterizing the diffraction pattern. The grating designs can incorporate features that can influence the phase and intensity of the diffracted SEM probe. We demonstrate this by producing electron vortex beams.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10303 - Particles and field physics

Projekt

<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2021

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Ultramicroscopy

ISSN

0304-3991

e-ISSN

1879-2723

Svazek periodika

225

Číslo periodika v rámci svazku

June

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

113268

Kód UT WoS článku

000649633800002

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85104406836