Manipulátor s mikrometrickým posuvem pro miniaturizovaný spektrometr sekundárních elektronů

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F21%3A00550826" target="_blank" >RIV/68081731:_____/21:00550826 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Manipulátor s mikrometrickým posuvem pro miniaturizovaný spektrometr sekundárních elektronů
Popis výsledku v původním jazyce
Manipulátor je součástí pozorovací komory miniaturizovaného spektrometru sekundárních elektronů, tak aby díky němu nebyla omezena zkoumaná oblast polovodičového vzorku na velikost aktuálního zorného pole elektronového mikroskopu. Je tak možné mapovat velké plochy dopovaných struktur na vzorku a rovněž zacílit oblast zájmu pod primární svazek elektronů.
Název v anglickém jazyce
Manipulator with micrometric shift for a miniaturised secondary electron spectrometer
Popis výsledku anglicky
The manipulator is a part of the observation chamber of the miniaturised secondary electron spectrometer, allowing it to observe an arbitrarily large area of the sample without field of view limitations imposed by the narrow entrance aperture of the spectrometer. Thanks this it is possible to map doped structures on a large scale and also to move any area of interest under the incoming electron beam with great precision.

Projekt
<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
APL-2021-06
Číselná identifikace
APL-2021-06
Technické parametry
Manipulátor držáku vzorku tvaru pravidelného osmihranu, kde pojezdy jsou realizovány formou tří bronzových pružin. Ty svírají mezi sebou úhel 120°, přičemž umožňují posun v rozsahu +- 1mm s přesností 10μm v každé ose nezávisle.
Ekonomické parametry
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D., fumici@isibrno.cz.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68081731
Název vlastníka
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
O - Doposud nevyužívaný výsledek
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)