SMV-2021-62: Souřadnicové interferometrické systémy
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F21%3A00551039" target="_blank" >RIV/68081731:_____/21:00551039 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
SMV-2021-62: Souřadnicové interferometrické systémy
Popis výsledku v původním jazyce
Vývoj víceosých interferometrických systémů pro souřadnicové polohování a odměřování s měřením ve dvou a třech osách pro polohování vzorků v elektronových litografech.
Název v anglickém jazyce
SMV-2021-62: Coordinate interferometric systems
Popis výsledku anglicky
Development of multiaxis interferometric systems for coordinate positioning and measurement in two and three axes for positioning of samples in electron-beam litography.
Klasifikace
Druh
V<sub>souhrn</sub> - Souhrnná výzkumná zpráva
CEP obor
—
OECD FORD obor
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju
Ostatní
Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Údaje specifické pro druh výsledku
Počet stran výsledku
2
Místo vydání
Brno
Název nakladatele resp. objednatele
Antonín Schenk s.r.o.
Verze
—