Příprava fázových binárních mřížek pomocí elektronové litografie a reaktivního iontového leptání pro výrobu optických vláknových senzorů

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/68081731:_____/22:00567776 - isvavai.cz

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Příprava fázových binárních mřížek pomocí elektronové litografie a reaktivního iontového leptání pro výrobu optických vláknových senzorů

Popis výsledku v původním jazyce

Příspěvek se zabývá přípravou fázových binárních masek pomocí elektronové litografie a reaktivního iontového leptání pro potřeby výroby optických vláknových senzorů. Zkoumalo se ladění hloubky mřížek pro potlačení účinnosti různých kombinací nežádoucích difrakčních řádů pro danou periodu mřížky a její střídu. Byly porovnány teoretické simulace s měřeními na vyrobených mřížkách.

Název v anglickém jazyce

Binary phase masks fabrication using the method of e-beam lithography and reactive ion etching for optical fiber sensors manufacturing

Popis výsledku anglicky

This contribution deals with the fabrication of binary phase masks using the method of e-beam lithography and reactive ion etching for the manufacturing of optical fiber sensors. The research was focused on the adjusting of gratings depth because of suppression of various undesirable diffraction orders for set grating pitch and its duty cycle. Theoretical simulations were compared with measurement of fabricated gratings.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

20201 - Electrical and electronic engineering

Projekt

FW01010379: Nelineární difrakční vláknové prvky pro senzorické systémy

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2022

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

LA62. Sborník příspěvků multioborové konference LASER62

ISBN

978-80-87441-30-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

43-44

Název nakladatele

Ústav přístrojové techniky AV ČR

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Lednice

Datum konání akce

9. 11. 2022

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—