Dewarova nádoba na kapalný dusík pro skenovací elektronový mikroskop

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F23%3A00580433" target="_blank" >RIV/68081731:_____/23:00580433 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Dewarova nádoba na kapalný dusík pro skenovací elektronový mikroskop

Popis výsledku v původním jazyce

Funkčním vzorkem je Dewarova nádoba na kapalný dusík s chlazeným měděným palcem pro chlazení držáku vzorku a antikontaminačních štítů skenovacího elektronového mikroskopu (SEM) Helios G4, který je vybaven zdrojem fokusovaného iontového svazku (FIB). Dewarova nádoba plní funkci chladícího systému mikroskopu (tzv. Cryo-FIB-SEM) umožňující dosáhnout rozsah pracovních teplot držáku vzorku v rozmezí -160 °C (113 K) až -120 °C (153 K) s minimální dobou provozu 11 h. Dewarova nádoba se instaluje na vakuovou komoru SEM. Držák vzorku je připojen k chlazenému palci prostřednictvím flexibilního měděného svazku s vysokou tepelnou vodivostí, který umožňuje polohování vzorku vůči SEM a FIB. Antikontaminační štít je k palci připojen pevnou tepelnou kotvou.

Název v anglickém jazyce

Liquid nitrogen Dewar vessel for scanning electron microscope

Popis výsledku anglicky

The functional sample is a Dewar liquid nitrogen vessel with a cooled copper thumb for cooling the sample holder and the anti-contamination shields of the Helios G4 scanning electron microscope (SEM), which is equipped with a focused ion beam (FIB) source. The Dewar vessel acts as a cooling system for the microscope (Cryo-FIB-SEM), allowing the sample holder to reach an operating temperature range of -160 °C (113 K) to -120 °C (153 K) with a minimum operating time of 11 h. The Dewar vessel is installed on the vacuum chamber of the SEM. The sample holder is connected to the cooled thumb via a flexible copper bundle with high thermal conductivity that allows positioning of the sample relative to the SEM and FIB. The anti-contamination shield is attached to the thumb by a rigid thermal anchor.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

—

OECD FORD obor

20303 - Thermodynamics

Projekt

<a href="/cs/project/TN02000020" target="_blank" >TN02000020: Centrum pokročilé elektronové a fotonové optiky</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2023

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

APL-2023-11

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Dewarova nádoba obsahuje chlazený měděný palec celkové délky 410 mm tepelně ukotvený ke dnu nádoby na kapalný dusík (LN2). Konec palce umožňuje tepelné spojení držáku vzorku a antikontaminačních štítů s palcem pomocí pevných nebo pružných měděných spojek. Vakuový prostor Dewarovy nádoby lze vlnovcem oddělit od vakuového prostoru komory mikroskopu a znemožnit tak kontaminaci komory odpařenými kondenzáty při zahřátí nádoby. Vnější válcový vakuový plášť má průměr 102 mm a výšku 208 mm. Objem vnitřní nádoby LN2 je 0,91 l. Při odhadované maximální tepelné zátěži 2 W na konci chlazeného palce je dosažitelná teplota jeho konce 90,8 K. Odpovídající doba výdrže náplně LN2 při tepelné zátěži 2 W je přibližně 11 h.

Ekonomické parametry

Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Pavel Urban, Ph.D, urban@isibrno.cz.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

68081731

Název vlastníka

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—