Příprava otěruvzdorných vrstev s nízkým třením pomocí magnetronů a RF plazma-chemických systémů s dutými katodami

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F01%3A00024675" target="_blank" >RIV/68378271:_____/01:00024675 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Preparation of wear resistant layers with low friction by magnetron sputtering and RF plasma assisted chemical vapor deposition systems with hollow cathodes (516.50)

Popis výsledku v původním jazyce

Final report deals with review of solution of this COST project with main conclusions: 1. Magnetron sputtering, ECR PA CVD or low pressure plasma jet systems are suitable for preparation of tribological coatings; 2. All amorphous carbon and also carbon nitride films were elastic, hard, and have a good tribological properties.Application of RF bias -100 V improves a lot these properties

Název v anglickém jazyce

Preparation of wear resistant layers with low friction by magnetron sputtering and RF plasma assisted chemical vapor deposition systems with hollow cathodes (516.50)

Popis výsledku anglicky

Final report deals with review of solution of this COST project with main conclusions: 1. Magnetron sputtering, ECR PA CVD or low pressure plasma jet systems are suitable for preparation of tribological coatings; 2. All amorphous carbon and also carbon nitride films were elastic, hard, and have a good tribological properties.Application of RF bias -100 V improves a lot these properties

Druh

V_x - Nezařazeno - Výzkumná zpráva obsahující utajované informace (takový výsledek lze do RIV vložit pouze v případě, že zpráva obsahuje utajované informace a pole R12 = U), nebo souhrnná výzkumná zpráva

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20516.50" target="_blank" >OC 516.50: Příprava otěruvzdorných vrstev s nízkým třením pomocí magnetronů a RF plazma-chemických systémů s dutými katodami</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Počet stran výsledku

4

Místo vydání

Luxembourg

Název nakladatele resp. objednatele

—

Verze

—