Problems of PLD hybrid technique for CN x films creation.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F01%3A02010328" target="_blank" >RIV/68378271:_____/01:02010328 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Problems of PLD hybrid technique for CN x films creation.
Popis výsledku v původním jazyce
Highly nitrogenated CN x films were created by pulsed laser deposition, combidned with radiogrequency and hallow cathode dicharges. The FR discharge was held between two electrodes situated parallel to plasm plume from a graphite target. In PLD combinedwith HC discharges an one of the RF electrodes was used to supply nitrogen on the substrate.
Název v anglickém jazyce
Problems of PLD hybrid technique for CN x films creation.
Popis výsledku anglicky
Highly nitrogenated CN x films were created by pulsed laser deposition, combidned with radiogrequency and hallow cathode dicharges. The FR discharge was held between two electrodes situated parallel to plasm plume from a graphite target. In PLD combinedwith HC discharges an one of the RF electrodes was used to supply nitrogen on the substrate.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2001
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Laser Physics and Applications.
ISBN
0-8197-4120-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
285-289
Název nakladatele
SPIE
Místo vydání
Bellingham
Místo konání akce
Varna [BG]
Datum konání akce
18. 9. 2000
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—