Teoretická nejistota měření interferometrie v bílém světle na drsných površích
Popis výsledku
Velkou výhodou interferometrie v bílém světle je, že může být použita pro měření výškového profilu předmětu s drsným povrchem. Speklový obrazec, který se objeví v obrazové rovině, umožňuje pozorovat interference, zároveň však je tento obrazec zdrojem nejistoty měření. Odvodili jsme teoretické meze podélné nejistoty měření pomocí statistiky prvního řádu speklového obrazce
Klíčová slova
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Theoretical measurement uncertainity of white-light interferometry on rough surfaces
Popis výsledku v původním jazyce
A great advantage of the white-light interferometry is that it can be used for profile measurement of objects with a rough surface. A speckle pattern that arises in the image plane allows one to observe the interference; however, this pattern is also thesource of the measurement uncertainty. We derive the theoretical limits of the longitudinal uncertainty by virtue of the first-order statistics of the speckle pattern
Název v anglickém jazyce
Theoretical measurement uncertainity of white-light interferometry on rough surfaces
Popis výsledku anglicky
A great advantage of the white-light interferometry is that it can be used for profile measurement of objects with a rough surface. A speckle pattern that arises in the image plane allows one to observe the interference; however, this pattern is also thesource of the measurement uncertainty. We derive the theoretical limits of the longitudinal uncertainty by virtue of the first-order statistics of the speckle pattern
Klasifikace
Druh
Jx - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2003
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Applied Optics
ISSN
0003-6935
e-ISSN
—
Svazek periodika
42
Číslo periodika v rámci svazku
10
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
1809-1813
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—
Základní informace
Druh výsledku
Jx - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP
BH - Optika, masery a lasery
Rok uplatnění
2003