Height profile measurement by means of white-light interferometry.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F03%3A02030180" target="_blank" >RIV/68378271:_____/03:02030180 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Height profile measurement by means of white-light interferometry.

Popis výsledku v původním jazyce

White-light interferometry is an established method for the height-profile measurement of rough surface. we show the results of the heigh-profile measurement of silicon waters.

Název v anglickém jazyce

Height profile measurement by means of white-light interferometry.

Popis výsledku anglicky

White-light interferometry is an established method for the height-profile measurement of rough surface. we show the results of the heigh-profile measurement of silicon waters.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/LN00A015" target="_blank" >LN00A015: Výzkumné centrum pro optiku</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Engineering Mechanics 2003.

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

1-7

Název nakladatele

Institut of Theoretical and Applied Mechanics ASCR, Prague

Místo vydání

Žd'ár nad Sázavou

Místo konání akce

Svratka [CZ]

Datum konání akce

12. 5. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—