Energy-resolved mass spectroscopy of Ar-C 2 H 2 -N 2 plasma, performed during ion plating of TiC and Ti N hard coatings.

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F03%3A02030257" target="_blank" >RIV/68378271:_____/03:02030257 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Energy-resolved mass spectroscopy of Ar-C 2 H 2 -N 2 plasma, performed during ion plating of TiC and Ti N hard coatings.
Popis výsledku v původním jazyce
Energy resolved mass spectroscopy studies during the discharge in Ar+N 2 +C 2 H 2 gas mixture in a triode ion plating apparatus Balzers BAI 730 reveals a high degree of acetylene decomposition under typical condition suitable for Cr and Ti evaporation. The most abundant neutral species beside Ar in the case of Ar+C 2 H 2 gas mixture is hydrogen and acetylene as could be expected.
Název v anglickém jazyce
Energy-resolved mass spectroscopy of Ar-C 2 H 2 -N 2 plasma, performed during ion plating of TiC and Ti N hard coatings.
Popis výsledku anglicky
Energy resolved mass spectroscopy studies during the discharge in Ar+N 2 +C 2 H 2 gas mixture in a triode ion plating apparatus Balzers BAI 730 reveals a high degree of acetylene decomposition under typical condition suitable for Cr and Ti evaporation. The most abundant neutral species beside Ar in the case of Ar+C 2 H 2 gas mixture is hydrogen and acetylene as could be expected.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—

Rok uplatnění
2003
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)