Světelný kolektor pro vzdušnou fluorescenci a také pro rozptyl záření na nečistotách křemíkových desek

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F04%3A00021103" target="_blank" >RIV/68378271:_____/04:00021103 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Light collector for air fluorescence as well as for scattering by wafer contaminants

Popis výsledku v původním jazyce

Air fluorescence is defined as photons produced by charged particles in the air. The excited molecules emit light in the near UV and in the visible region between 300 nm and 400 nm. The simple light collection system for laboratory analysis of the fluorescence signal is presened. The optical layout of Surfscan 4500 (KLA-Tencor) is described and very high similarity between it and fluorescence colection system is shown.

Název v anglickém jazyce

Light collector for air fluorescence as well as for scattering by wafer contaminants

Popis výsledku anglicky

Air fluorescence is defined as photons produced by charged particles in the air. The excited molecules emit light in the near UV and in the visible region between 300 nm and 400 nm. The simple light collection system for laboratory analysis of the fluorescence signal is presened. The optical layout of Surfscan 4500 (KLA-Tencor) is described and very high similarity between it and fluorescence colection system is shown.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BF - Elementární částice a fyzika vysokých energií

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

SILICON 2004: The Ninth Scientific and Business Conference

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

11

Strana od-do

213-223

Název nakladatele

TECON Scientific

Místo vydání

Rožnov pod Radhoštěm

Místo konání akce

Rožnov pod Radhoštěm

Datum konání akce

2. 11. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—