Studium RF pulzně modulovaného plasma jet systému během depozice tenkých vrstev Pb(ZrxTi1-x)O3 na polymerní substráty

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F05%3A00023616" target="_blank" >RIV/68378271:_____/05:00023616 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/60076658:12410/05:00006415
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Investigation of the RF pulse modulated plasma jet system during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 thin films on polymer substrates
Popis výsledku v původním jazyce
The RF modulated plasma jet system was investigated during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT) thin films on polymer substrates. PZT films were deposited simultaneously on Si and polymer substrates with Pt layer. PZT films were deposited simultaneously on Si and polymer substrates with Pt layer
Název v anglickém jazyce
Investigation of the RF pulse modulated plasma jet system during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 thin films on polymer substrates
Popis výsledku anglicky
The RF modulated plasma jet system was investigated during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT) thin films on polymer substrates. PZT films were deposited simultaneously on Si and polymer substrates with Pt layer. PZT films were deposited simultaneously on Si and polymer substrates with Pt layer

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/KJB1010302" target="_blank" >KJB1010302: Studium vícetryskového systému s plazmovými kanály a dutými katodami pro nízkoteplotní depozici perovskitových tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2005
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)