Vliv složení plynné fáze na nanokrystalické diamantové vrystvy připravené MWCVD

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F05%3A00025674" target="_blank" >RIV/68378271:_____/05:00025674 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68407700:21460/05:00112916
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Influence of the gas phase composition on nanocrystalline diamond films prepared by MWCVD
Popis výsledku v původním jazyce
Nanocrystalline diamond (NCD) films have been prepared by microwave plasma chemical vapor deposition (MWCVD) from methane/nitrogen mixtures, and the influence of the gas phase composition on the basic properties of the films (composition, morphology, topography, crystallinity and bonding structure) was investigated
Název v anglickém jazyce
Influence of the gas phase composition on nanocrystalline diamond films prepared by MWCVD
Popis výsledku anglicky
Nanocrystalline diamond (NCD) films have been prepared by microwave plasma chemical vapor deposition (MWCVD) from methane/nitrogen mixtures, and the influence of the gas phase composition on the basic properties of the films (composition, morphology, topography, crystallinity and bonding structure) was investigated

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/IAA1010110" target="_blank" >IAA1010110: Nové laserové hybridní technologie pro depozici tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2005
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)