Detailní studium struktury nízkoteplotních Si vrstev se smíšenou strukturou pomocí X-TEM a atmosférického vodivostního AFM

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F06%3A00040682" target="_blank" >RIV/68378271:_____/06:00040682 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Detailed structural study of low temperature mixed-phase Si films by X-TEM and ambient conductive AFM
Popis výsledku v původním jazyce
We have succeeded in the measurement of local conductivity of thin Si films under standard ambient conditions, overcoming the surface native oxide by more sensitive (pA range) current detection and we also observed the columnar structure of the amorphousphase both by TEM and AFM
Název v anglickém jazyce
Detailed structural study of low temperature mixed-phase Si films by X-TEM and ambient conductive AFM
Popis výsledku anglicky
We have succeeded in the measurement of local conductivity of thin Si films under standard ambient conditions, overcoming the surface native oxide by more sensitive (pA range) current detection and we also observed the columnar structure of the amorphousphase both by TEM and AFM

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2006
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)