Využití laserového plazmatu jako zdroje měkkého rentgenového a EUV záření v mikro- a nano-technologii

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F07%3A00086264" target="_blank" >RIV/68378271:_____/07:00086264 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68407700:21340/07:04137471

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Application of laser plasma soft x-ray and EUV sources in micro- and nanotechnology

Popis výsledku v původním jazyce

Results on micro- and nanoprocessing of organic polymers using X-rays and extreme ultraviolet (EUV) generated from laser-plasma radiation sources are presented in the paper. The sources used in the studies are based on the gas puff target approach developed at the Institute of Optoelectronics, Warsaw

Název v anglickém jazyce

Application of laser plasma soft x-ray and EUV sources in micro- and nanotechnology

Popis výsledku anglicky

Results on micro- and nanoprocessing of organic polymers using X-rays and extreme ultraviolet (EUV) generated from laser-plasma radiation sources are presented in the paper. The sources used in the studies are based on the gas puff target approach developed at the Institute of Optoelectronics, Warsaw

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the International Conference on Laser Technology VIII: Applications of Lasers

ISBN

978-0-8194-6734-8

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

1-8

Název nakladatele

SPIE

Místo vydání

Bellingham

Místo konání akce

Szczecin-Swinoujscie

Datum konání akce

25. 9. 2006

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—