Optical study of BST films combining ellipsometry and reflectivity

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F09%3A00340744" target="_blank" >RIV/68378271:_____/09:00340744 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216208:11320/09:00206608

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical study of BST films combining ellipsometry and reflectivity

Popis výsledku v původním jazyce

Optical properties of plasma laser-deposited Ba0.75Sr0.25TiO3 (BST) thin films have been investigated using variable angle spectroscopic ellipsometry (VASE) and near-normal spectroscopic reflectivity (NNSR) within a broad spectral range at room temperature. The samples prepared under various deposition conditions and the Si substrate coated with the structure SiO2/TiOx/Pt weremeasured. The Xray diffraction, atomic force microscopy and alpha step measurement were used for characterization of the samples.The platinum-coated Si substráte data were fitted as a semi-infinite medium using the Drude and Lorentz oscillators model. The structure model for optical characterization of the sample included not only the BST layers and substrate but also the intermix and surface roughness layers to achieve good agreement with experimental data. The substrate structure was modeled by a simple bulk with surface roughness.

Název v anglickém jazyce

Optical study of BST films combining ellipsometry and reflectivity

Popis výsledku anglicky

Optical properties of plasma laser-deposited Ba0.75Sr0.25TiO3 (BST) thin films have been investigated using variable angle spectroscopic ellipsometry (VASE) and near-normal spectroscopic reflectivity (NNSR) within a broad spectral range at room temperature. The samples prepared under various deposition conditions and the Si substrate coated with the structure SiO2/TiOx/Pt weremeasured. The Xray diffraction, atomic force microscopy and alpha step measurement were used for characterization of the samples.The platinum-coated Si substráte data were fitted as a semi-infinite medium using the Drude and Lorentz oscillators model. The structure model for optical characterization of the sample included not only the BST layers and substrate but also the intermix and surface roughness layers to achieve good agreement with experimental data. The substrate structure was modeled by a simple bulk with surface roughness.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA202%2F07%2F0591" target="_blank" >GA202/07/0591: Souvislost dielektrických vlastností feroelektrických tenkých vrstev a supermřížek s jejich mikrostrukturou</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Applied Surface Science

ISSN

0169-4332

e-ISSN

—

Svazek periodika

255

Číslo periodika v rámci svazku

10

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000263865000039

EID výsledku v databázi Scopus

—