Evaluation of elastic properties of DLC layers using resonant ultrasound spectroscopy and AFM nanoindentation
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F11%3A00364639" target="_blank" >RIV/68378271:_____/11:00364639 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/61388998:_____/11:00364639 RIV/68407700:21460/11:00187587
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.01.038" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.01.038</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.01.038" target="_blank" >10.1016/j.surfcoat.2011.01.038</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Evaluation of elastic properties of DLC layers using resonant ultrasound spectroscopy and AFM nanoindentation
Popis výsledku v původním jazyce
Elastic properties of diamond-like carbon (DLC) layers with gradient carbon?silicon interlayer were studied by resonant ultrasound spectroscopy (RUS) and standard nano-indentation technique. The DLC layers were prepared by pulsed laser deposition on SiC/Si substrates. The RUS method is based on modal analysis of the specimen vibration. The resonant frequency shifts caused by the layer are for the evaluation of the dynamic inplane elastic properties of the deposited DLC. The results were compared with the quasi-statical quantities - Young's modulus and hardness, obtained by nanoindentation using the AFM tip.
Název v anglickém jazyce
Evaluation of elastic properties of DLC layers using resonant ultrasound spectroscopy and AFM nanoindentation
Popis výsledku anglicky
Elastic properties of diamond-like carbon (DLC) layers with gradient carbon?silicon interlayer were studied by resonant ultrasound spectroscopy (RUS) and standard nano-indentation technique. The DLC layers were prepared by pulsed laser deposition on SiC/Si substrates. The RUS method is based on modal analysis of the specimen vibration. The resonant frequency shifts caused by the layer are for the evaluation of the dynamic inplane elastic properties of the deposited DLC. The results were compared with the quasi-statical quantities - Young's modulus and hardness, obtained by nanoindentation using the AFM tip.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA101%2F09%2F0702" target="_blank" >GA101/09/0702: Mechanické vlastnosti funkčních vrstev submikronových tloušťek</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Surface and Coatings Technology
ISSN
0257-8972
e-ISSN
—
Svazek periodika
205
Číslo periodika v rámci svazku
2
Stát vydavatele periodika
CH - Švýcarská konfederace
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
"S67"-"S70"
Kód UT WoS článku
000293258600014
EID výsledku v databázi Scopus
—