Novel plasma treatment in linear antenna microwave PECVD system
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F12%3A00377792" target="_blank" >RIV/68378271:_____/12:00377792 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68407700:21340/12:00175420
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2011.07.055" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2011.07.055</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2011.07.055" target="_blank" >10.1016/j.vacuum.2011.07.055</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Novel plasma treatment in linear antenna microwave PECVD system
Popis výsledku v původním jazyce
This work reports on hydrogen termination of nano-crystalline diamond films and the behavior of polymer SU-8 as passivating layer after plasma treatment performed at low temperature in a novel linear antenna microwave plasma enhanced system. Nano-crystalline diamond films were grown by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition and then hydrogen terminated at different substrate temperatures.
Název v anglickém jazyce
Novel plasma treatment in linear antenna microwave PECVD system
Popis výsledku anglicky
This work reports on hydrogen termination of nano-crystalline diamond films and the behavior of polymer SU-8 as passivating layer after plasma treatment performed at low temperature in a novel linear antenna microwave plasma enhanced system. Nano-crystalline diamond films were grown by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition and then hydrogen terminated at different substrate temperatures.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Vacuum
ISSN
0042-207X
e-ISSN
—
Svazek periodika
86
Číslo periodika v rámci svazku
6
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
603-607
Kód UT WoS článku
000301018400006
EID výsledku v databázi Scopus
—