Linear antenna microwave plasma CVD diamond deposition at the edge of no-growth region of C-H-O ternary diagram
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F12%3A00389192" target="_blank" >RIV/68378271:_____/12:00389192 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68407700:21340/12:00200654
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1002/pssb.201200124" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1002/pssb.201200124</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1002/pssb.201200124" target="_blank" >10.1002/pssb.201200124</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Linear antenna microwave plasma CVD diamond deposition at the edge of no-growth region of C-H-O ternary diagram
Popis výsledku v původním jazyce
The process parametric window for diamond deposition using the chemical vapor deposition at low pressures is quite limited where addition of oxygen in the gas phase broadens this window. The lower boundary of the lens-shaped domain in C-H-O ternary diagram concurs with the H2-CO tie-line (C/(C+O)=0.5). In this work, we present the set of experiments where the ratio of C/(C+O) was kept at a constant value 0.385. The effect of hydrogen concentration (ratio O/(O+H) varied from 0.047 to 0.364) on plasma characteristics and deposited NCD films were investigated. Raman spectroscopy confirmed the diamond character of all deposited coatings while scanning electron microscopy showed transformation from not closed to continuous film and further decrease of grainsize and finally growth of diamond nanowires while decreasing hydrogen concentration in a gas mixture.
Název v anglickém jazyce
Linear antenna microwave plasma CVD diamond deposition at the edge of no-growth region of C-H-O ternary diagram
Popis výsledku anglicky
The process parametric window for diamond deposition using the chemical vapor deposition at low pressures is quite limited where addition of oxygen in the gas phase broadens this window. The lower boundary of the lens-shaped domain in C-H-O ternary diagram concurs with the H2-CO tie-line (C/(C+O)=0.5). In this work, we present the set of experiments where the ratio of C/(C+O) was kept at a constant value 0.385. The effect of hydrogen concentration (ratio O/(O+H) varied from 0.047 to 0.364) on plasma characteristics and deposited NCD films were investigated. Raman spectroscopy confirmed the diamond character of all deposited coatings while scanning electron microscopy showed transformation from not closed to continuous film and further decrease of grainsize and finally growth of diamond nanowires while decreasing hydrogen concentration in a gas mixture.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Physica Status Solidi B-Basic Solid State Physics
ISSN
0370-1972
e-ISSN
—
Svazek periodika
249
Číslo periodika v rámci svazku
12
Stát vydavatele periodika
DE - Spolková republika Německo
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
2612-2615
Kód UT WoS článku
000312215300074
EID výsledku v databázi Scopus
—