Performances of microwave plasma generation in linear antenna configuration

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F13%3A00424334" target="_blank" >RIV/68378271:_____/13:00424334 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Performances of microwave plasma generation in linear antenna configuration

Popis výsledku v původním jazyce

The versatility of linear antenna MW plasma system for growth of carbon allotropes was previously shown. Utilization of commercially available deposition systems brings advantages of strong technological background, cost effectiveness and usually easy further up-scaling. On the other hand, these systems need special modifications and deeper understanding of ongoing processes when used for scientific research. In this article we studied the behavior of plasma generation by two independent pulsed MW generators. We have shown how to overcome a problem of missing trigger outputs from the pulsed MW generators for realization of time resolved measurements. We have also shown that in the studied system exist the 33 min period during which originally synchronized pulses detune each from other and synchronize back creating also an interval of time when plasma does not extinguish.

Název v anglickém jazyce

Performances of microwave plasma generation in linear antenna configuration

Popis výsledku anglicky

The versatility of linear antenna MW plasma system for growth of carbon allotropes was previously shown. Utilization of commercially available deposition systems brings advantages of strong technological background, cost effectiveness and usually easy further up-scaling. On the other hand, these systems need special modifications and deeper understanding of ongoing processes when used for scientific research. In this article we studied the behavior of plasma generation by two independent pulsed MW generators. We have shown how to overcome a problem of missing trigger outputs from the pulsed MW generators for realization of time resolved measurements. We have also shown that in the studied system exist the 33 min period during which originally synchronized pulses detune each from other and synchronize back creating also an interval of time when plasma does not extinguish.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Perspektívne vákuové metódy a technológie (Perspective vacuum methods and technologies)

ISBN

978-80-971179-2-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

42-46

Název nakladatele

Slovenská vákuová spoločnosť

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Štrbské Pleso

Datum konání akce

10. 10. 2013

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—