Measurement of Young?s modulus and volumetric mass density/thickness of ultrathin films utilizing resonant based mass sensors
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00433721" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00433721 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://scitation.aip.org/content/aip/journal/apl/104/8/10.1063/1.4866417" target="_blank" >http://scitation.aip.org/content/aip/journal/apl/104/8/10.1063/1.4866417</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4866417" target="_blank" >10.1063/1.4866417</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Measurement of Young?s modulus and volumetric mass density/thickness of ultrathin films utilizing resonant based mass sensors
Popis výsledku v původním jazyce
By detecting the resonant frequency shift caused by an attached particle before and after film deposition, the Young?s modulus and either mass density or thickness of a patterned thin film can be determined. Furthermore, for a film characterization, theparticle mass does not need to be known and its attachment position can be either measured or calculated from consecutive resonant frequency shifts: two for bridge and three for cantilever. The applicability of mass sensors in film characterization has been confirmed by comparing predictions with recent experiments.
Název v anglickém jazyce
Measurement of Young?s modulus and volumetric mass density/thickness of ultrathin films utilizing resonant based mass sensors
Popis výsledku anglicky
By detecting the resonant frequency shift caused by an attached particle before and after film deposition, the Young?s modulus and either mass density or thickness of a patterned thin film can be determined. Furthermore, for a film characterization, theparticle mass does not need to be known and its attachment position can be either measured or calculated from consecutive resonant frequency shifts: two for bridge and three for cantilever. The applicability of mass sensors in film characterization has been confirmed by comparing predictions with recent experiments.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GAP107%2F12%2F0800" target="_blank" >GAP107/12/0800: Únava aktuátorů z vysokoteplotních slitin s tvarovou pamětí NiTiX /FACT/</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Applied Physics Letters
ISSN
0003-6951
e-ISSN
—
Svazek periodika
104
Číslo periodika v rámci svazku
8
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
"083102-1"-"083102-4"
Kód UT WoS článku
000332619100103
EID výsledku v databázi Scopus
—