Change of diamond film structure and morphology with N2 addition in MW PECVD apparatus with linear antenna delivery system
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00435932" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00435932 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/61389005:_____/14:00435932 RIV/68407700:21460/14:00222724
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1002/pssa.201431255" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1002/pssa.201431255</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1002/pssa.201431255" target="_blank" >10.1002/pssa.201431255</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Change of diamond film structure and morphology with N2 addition in MW PECVD apparatus with linear antenna delivery system
Popis výsledku v původním jazyce
In this work, we show that an ultra nano-crystalline diamond (UNCD) type of morphology can be prepared upon N2 addition to H2[BOND]CO2[BOND]CH4 plasmas at low pressures (0.3?mbar) and low temperature (520?°C); however, these films despite their UNCD character show sp3 dominated Raman spectra and highly isolating behavior. The crystalline structure and morphology of the films were characterized by scanning electron microscopy, atomic force microscopy, Raman spectroscopy, grazing angle X-ray diffraction,and transmission electron microscopy. Diamond films' composition was evaluated from thermal neutron depth profiling. Films were also characterized by photoluminescence spectroscopy to study the incorporation of luminescent NV centre. Addition of nitrogenincreases deposition rate and dramatically changes surface morphology and crystalline structure from well faceted diamond crystals to UNCD like morphology.
Název v anglickém jazyce
Change of diamond film structure and morphology with N2 addition in MW PECVD apparatus with linear antenna delivery system
Popis výsledku anglicky
In this work, we show that an ultra nano-crystalline diamond (UNCD) type of morphology can be prepared upon N2 addition to H2[BOND]CO2[BOND]CH4 plasmas at low pressures (0.3?mbar) and low temperature (520?°C); however, these films despite their UNCD character show sp3 dominated Raman spectra and highly isolating behavior. The crystalline structure and morphology of the films were characterized by scanning electron microscopy, atomic force microscopy, Raman spectroscopy, grazing angle X-ray diffraction,and transmission electron microscopy. Diamond films' composition was evaluated from thermal neutron depth profiling. Films were also characterized by photoluminescence spectroscopy to study the incorporation of luminescent NV centre. Addition of nitrogenincreases deposition rate and dramatically changes surface morphology and crystalline structure from well faceted diamond crystals to UNCD like morphology.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Physica Status Solidi. A
ISSN
1862-6300
e-ISSN
—
Svazek periodika
211
Číslo periodika v rámci svazku
10
Stát vydavatele periodika
DE - Spolková republika Německo
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
2296-2301
Kód UT WoS článku
000344241100014
EID výsledku v databázi Scopus
—