Time-resolved tuned diode laser absorption spectroscopy of pulsed plasma
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00439672" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00439672 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/511/1/012088" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/511/1/012088</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/511/1/012088" target="_blank" >10.1088/1742-6596/511/1/012088</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Time-resolved tuned diode laser absorption spectroscopy of pulsed plasma
Popis výsledku v původním jazyce
A novel method for time-resolved tuned diode laser absorption spectroscopy has been developed. In this paper, we describe in detail developed electronic module that controls time-resolution of laser absorption spectroscopy system. The TTL signal triggering plasma pulse is used for generation of two signals: the first one triggers the fine tuning of laser wavelength and second one controls time-defined signal sampling from absorption detector. The described method and electronic system enable us to investigate temporal evolution of sputtered particles in technological low-temperature plasma systems. The pulsed DC planar magnetron sputtering system has been used to verify this method. The 2 in diameter titanium target was sputtered in pure argon atmosphere. The working pressure was held at 2 Pa. All the experiments were carried out for pulse ON time fixed at 100 ?s.
Název v anglickém jazyce
Time-resolved tuned diode laser absorption spectroscopy of pulsed plasma
Popis výsledku anglicky
A novel method for time-resolved tuned diode laser absorption spectroscopy has been developed. In this paper, we describe in detail developed electronic module that controls time-resolution of laser absorption spectroscopy system. The TTL signal triggering plasma pulse is used for generation of two signals: the first one triggers the fine tuning of laser wavelength and second one controls time-defined signal sampling from absorption detector. The described method and electronic system enable us to investigate temporal evolution of sputtered particles in technological low-temperature plasma systems. The pulsed DC planar magnetron sputtering system has been used to verify this method. The 2 in diameter titanium target was sputtered in pure argon atmosphere. The working pressure was held at 2 Pa. All the experiments were carried out for pulse ON time fixed at 100 ?s.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Journal of Physics: Conference Series
ISBN
—
ISSN
1742-6596
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
"012088-1"-"012088-6"
Název nakladatele
IOP Publishing
Místo vydání
Bristol
Místo konání akce
Santiago, CHILE
Datum konání akce
8. 8. 2010
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000337223400088