Soft x-ray laser ablation mass spectrometry for materials study and nanoscale chemical imaging

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F15%3A00487367" target="_blank" >RIV/68378271:_____/15:00487367 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2188645" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1117/12.2188645</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2188645" target="_blank" >10.1117/12.2188645</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Soft x-ray laser ablation mass spectrometry for materials study and nanoscale chemical imaging

Popis výsledku v původním jazyce

There are significant advantages for using a compact capillary discharge soft x-ray laser (SXRL) with wavelength of 46.9 nm for mass spectrometry applications. The 26.4 eV energy photons provide efficient single-photon ionization while preserving the structure of molecules and clusters. The tens of nanometers absorption depth of the radiation coupled with the focusing of the laser beam to diameter of ∼100 nm result in the ablation of atto-liter scale craters which in turn enable high resolution mass spectral imaging of solid samples. In this paper we describe results on the analysis of composition depth-profiling of multilayer oxide stack and material studies in photoresists, ionic crystals, and magnesium corrosion products using SXRL ablation mass spectrometry, a method first demonstrated by our group. These materials are used in a variety of soft x-ray applications such as detectors, multilayer optics, and many more.n

Název v anglickém jazyce

Soft x-ray laser ablation mass spectrometry for materials study and nanoscale chemical imaging

Popis výsledku anglicky

There are significant advantages for using a compact capillary discharge soft x-ray laser (SXRL) with wavelength of 46.9 nm for mass spectrometry applications. The 26.4 eV energy photons provide efficient single-photon ionization while preserving the structure of molecules and clusters. The tens of nanometers absorption depth of the radiation coupled with the focusing of the laser beam to diameter of ∼100 nm result in the ablation of atto-liter scale craters which in turn enable high resolution mass spectral imaging of solid samples. In this paper we describe results on the analysis of composition depth-profiling of multilayer oxide stack and material studies in photoresists, ionic crystals, and magnesium corrosion products using SXRL ablation mass spectrometry, a method first demonstrated by our group. These materials are used in a variety of soft x-ray applications such as detectors, multilayer optics, and many more.n

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Projekt

<a href="/cs/project/GAP108%2F11%2F1312" target="_blank" >GAP108/11/1312: Vytváření speciálních tenkých vrstev UV-Vis-NIR transparentních dielektric pomocí ablace repetičním kapilárním XUV laserem</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

X-Ray Lasers and Coherent X-Ray Sources: Development and Applications XI

ISBN

978-1-62841-755-5

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

—

Název nakladatele

SPIE

Místo vydání

Bellingham

Místo konání akce

San Diego

Datum konání akce

12. 8. 2015

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000366306800005