Atomic layer deposition for coating of high aspect ratio TiO2 nanotube layers
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F16%3A00464609" target="_blank" >RIV/68378271:_____/16:00464609 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00216275:25310/16:39901702
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1021/acs.langmuir.6b03119" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1021/acs.langmuir.6b03119</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1021/acs.langmuir.6b03119" target="_blank" >10.1021/acs.langmuir.6b03119</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Atomic layer deposition for coating of high aspect ratio TiO2 nanotube layers
Popis výsledku v původním jazyce
We present an optimized approach for the deposition of Al2O3 (as a model secondary material) coating into high aspect ratio (180) anodic TiO2 nanotube layers using the atomic layer deposition (ALD) process. In order to study the influence of the diffusion of the Al2O3 precursors on the resulting coating thickness, ALD processes with different exposure times (i.e., 0.5, 2, 5, and 10 s) of the trimethylaluminum (TMA) precursor were performed.n
Název v anglickém jazyce
Atomic layer deposition for coating of high aspect ratio TiO2 nanotube layers
Popis výsledku anglicky
We present an optimized approach for the deposition of Al2O3 (as a model secondary material) coating into high aspect ratio (180) anodic TiO2 nanotube layers using the atomic layer deposition (ALD) process. In order to study the influence of the diffusion of the Al2O3 precursors on the resulting coating thickness, ALD processes with different exposure times (i.e., 0.5, 2, 5, and 10 s) of the trimethylaluminum (TMA) precursor were performed.n
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2016
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Langmuir
ISSN
0743-7463
e-ISSN
—
Svazek periodika
32
Číslo periodika v rámci svazku
41
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
8
Strana od-do
10551-10558
Kód UT WoS článku
000385907900014
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-84991780662