Mechanisms of high-regularity periodic structuring of silicon surface by sub-MHz repetition rate ultrashort laser pulses

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F16%3A00466276" target="_blank" >RIV/68378271:_____/16:00466276 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4963784" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1063/1.4963784</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4963784" target="_blank" >10.1063/1.4963784</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Mechanisms of high-regularity periodic structuring of silicon surface by sub-MHz repetition rate ultrashort laser pulses

Popis výsledku v původním jazyce

Silicon is one of the most abundant materials which is used in many areas of modern research and technology. A variety of those applications require surface nanopatterning with minimum structure defects. However, the high-quality nanostructuring of large areas of silicon surface at industrially acceptable speed is still a challenge. Here, we report a rapid formation of highly regular laser-induced periodic surface structures (HR-LIPSS) in the regime of strong ablation by infrared femtosecond laser pulses at sub-MHz repetition rate

Název v anglickém jazyce

Mechanisms of high-regularity periodic structuring of silicon surface by sub-MHz repetition rate ultrashort laser pulses

Popis výsledku anglicky

Silicon is one of the most abundant materials which is used in many areas of modern research and technology. A variety of those applications require surface nanopatterning with minimum structure defects. However, the high-quality nanostructuring of large areas of silicon surface at industrially acceptable speed is still a challenge. Here, we report a rapid formation of highly regular laser-induced periodic surface structures (HR-LIPSS) in the regime of strong ablation by infrared femtosecond laser pulses at sub-MHz repetition rate

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2016

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Applied Physics Letters

ISSN

0003-6951

e-ISSN

—

Svazek periodika

109

Číslo periodika v rámci svazku

14

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000386152800044

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-84989820011