Diamond thin film technologies: nucleation & growth
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F17%3A00487065" target="_blank" >RIV/68378271:_____/17:00487065 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Diamond thin film technologies: nucleation & growth
Popis výsledku v původním jazyce
The present work encompasses the progress in diamond thin film growth on foreign (non-diamond) substrates at low-pressure using chemical vapor deposition. We will introduce the hybrid HF CVD system with double bias which allows the nucleation by ion bombardment of the conductive substrates at low negative voltages (100÷200 V) where the surface coverage can be simply controlled as the function of process time and process parameters. Next, the ultrasonic seeding employing diamond nanoparticles without/with polymer composite will be pointed out as an effective way to achieve high seeding densities up to 1013 cm-2 and a consequent growth of ultrathin diamond films (<50 nm) on substrates of complex 3D geometries.n
Název v anglickém jazyce
Diamond thin film technologies: nucleation & growth
Popis výsledku anglicky
The present work encompasses the progress in diamond thin film growth on foreign (non-diamond) substrates at low-pressure using chemical vapor deposition. We will introduce the hybrid HF CVD system with double bias which allows the nucleation by ion bombardment of the conductive substrates at low negative voltages (100÷200 V) where the surface coverage can be simply controlled as the function of process time and process parameters. Next, the ultrasonic seeding employing diamond nanoparticles without/with polymer composite will be pointed out as an effective way to achieve high seeding densities up to 1013 cm-2 and a consequent growth of ultrathin diamond films (<50 nm) on substrates of complex 3D geometries.n
Klasifikace
Druh
O - Ostatní výsledky
CEP obor
—
OECD FORD obor
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů